Thông số kỹ thuật
Điện trở bề mặt lớp trên: 106 – 109Ω Điện trở bề mặt lớp dưới : 103 – 105Ω Điện trở bề mặt tổng hợp: 105 – 108Ω Độ mài mòn: +/- 0.02g/cm2 Thời gian loại bỏ tĩnh điện: +/- 0.1s
